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经营范围
发明名称
Herstellverfahren für eine als Intermetalldielektrikum fungierende Isolatorschicht
摘要
申请公布号
DE59708003(D1)
申请公布日期
2002.09.26
申请号
DE19975008003
申请日期
1997.06.27
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
GABRIC, ZVONIMIR;SPINDLER, DR.;GRASSL, THOMAS
分类号
H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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