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发明名称 Durchflussregelungssystem für Prozesskammer
摘要
申请公布号 DE69232399(T2) 申请公布日期 2002.09.26
申请号 DE1992632399T 申请日期 1992.03.13
申请人 PALMER, DAVID W. 发明人 PALMER, DAVID W.
分类号 F16K31/12;F16K31/126;F24F3/16;F24F7/06;F24F11/04;F24F11/047;G05D7/00;G05D7/01;G05D7/06;G05D16/10;(IPC1-7):G05D7/00 主分类号 F16K31/12
代理机构 代理人
主权项
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