| 发明名称 |
Polyimide, Verfahren zu ihrer Herstellung und diese enthaltende photoempfindliche Zusammensetzungen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69900875(T2) |
申请公布日期 |
2002.09.26 |
| 申请号 |
DE19996000875T |
申请日期 |
1999.03.15 |
| 申请人 |
NIPPON MEKTRON, LTD. |
发明人 |
CHIANG, LIN-CHIU;LIN, JENQ-TAIN;SENSUI, NOBUYUKI |
| 分类号 |
G03F7/038;C08G73/10;C08G77/455;(IPC1-7):C08G73/10 |
主分类号 |
G03F7/038 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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