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发明名称
摘要
申请公布号 JP3327977(B2) 申请公布日期 2002.09.24
申请号 JP19930058307 申请日期 1993.03.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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