发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN INTEGRIERTER SCHALTUNGEN
摘要
申请公布号 DE1931511(B2) 申请公布日期 1971.08.19
申请号 DE19691931511 申请日期 1969.06.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3205;(IPC1-7):01L7/34 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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