| 主权项 |
1.一种保护真空计的方法,适用于一反应室,该反应室连接于一抽气装置,该反应室与该抽气装置之间具有一抽气阀,该反应室并且连接一真空计,该真空计与该反应室之间具有一延迟阀,该方法包括:打开该抽气阀,以连通该反应室与该抽气装置;以及打开该延迟阀,以连通该反应室与该真空计,其中打开该延迟阀的时间系于打开该抽气阀之后,经过一延迟时间。2.如申请专利范围第1项所述之保护真空计的方法,其中该抽气装置包括帮浦。3.如申请专利范围第1项所述之保护真空计的方法,其中该真空计包括电容真空计。4.如申请专利范围第1项所述之保护真空计的方法,其中该延迟时闸大约为3至5秒。5.如申请专利范围第1项所述之保护真空计的方法,其中该延迟阀包括气体驱动式阀门。6.如申请专利范围第5项所述之保护真空计的方法,其中该延迟阀包括反应时间慢于该抽气阀之阀门。7.如申请专利范围第1项所述之保护真空计的方法,其中该延迟阀包括电动阀门。8.如申请专利范围第7项所述之保护真空计的方法,其中打开该延迟阀之方法包括于打开该抽气阀,并经过该延迟时间之后,对该延迟阀提供一开启的讯号。9.一种保护真空计的方法,适用于具有常压之气体之一反应室,该反应室连接于一抽气装置,该反应室与该抽气装置之间具有一抽气阀,该反应室并且连接一真空计,该真空计与该反应室之间具有一延迟阀,该方法包括:打开该抽气阀,以使该抽气装置抽取该反应室中之气体;以及于该反应室中之气体压力低于该真空计可量测之范围时,打开该延迟阀,以连通该反应室与该真空计。10.如申请专利范围第9项所述之保护真空计的方法,其中该抽气装置包括帮浦。11.如申请专利范围第9项所述之保护真空计的方法,其中该真空计包括电容真空计。12.如申请专利范围第9项所述之保护真空计的方法,其中打开该延迟阀的时间慢于打开该抽气阀的时间大约3秒至5秒。13.如申请专利范围第12项所述之保护真空计的方法,其中打开该延迟阀时,该反应室中之气体压力大约为100torr。14.如申请专利范围第9项所述之保护真空计的方法,其中该延迟阀包括气体驱动式阀门。15.如申请专利范围第14项所述之保护真空计的方法,其中该延迟阀包括反应时间慢于该抽气阀之阀门。16.如申请专利范围第9项所述之保护真空计的方法,其中该延迟阀包括电动阀门。17.如申请专利范围第16项所述之保护真空计的方法,其中打开该延迟阀之方法包括于对该延迟阀提供一开启的讯号。图式简单说明:第1图绘示根据本发明之一较佳实施例,一种反应室系统的结构示意图;以及第2图绘示根据本发明之一较佳实施例,操作第1图所示之反应室系统之步骤的时序图。 |
