| 主权项 |
1.一种高功率平面声波装置,包括:一具有一表面的压电基体;以及一放置在基体表面上的平面声波电极,该电极包括一沈积在该表面上并与该表面黏合的材料黏合层,以及至少一材料层的传导结构覆盖在黏合层上,并由黏合层固定黏合至该表面,该传导结构包括铝和一合金金属,该合金金属就范围而言大约占重量的1%到一个百分数,该百分数能在平面声波电极中提供可加强声音及机械性质的最大传导率。2.如申请专利范围第1项的高功率平面声波装置,其中该合金金属的范围大约介于重量的1%到25%间。3.如申请专利范围第1项的高功率平面声波装置,其中该黏合层包括一从周期表第四或第六栏的元素中挑选出的金属。4.如申请专利范围第3项的高功率平面声波装置,其中该黏合层包括钛、钛-钨、钛-钨-氮化物、铬与其化合物之一。5.如申请专利范围第1项的高功率平面声波装置,其中该合金金属包括一从周期表第四或第六栏的元素中挑选出的金属。6.如申请专利范围第5项的高功率平面声波装置,其中该合金金属包括钛、钼、铬与钨之一。7.如申请专利范围第1项的高功率平面声波装置,其中该传导结构包括复数个铝与合金金属层。8.如申请专利范围第1项的高功率平面声波装置,其中该传导结构包括单一铝与合金金属层。9.如申请专利范围第1项的高功率平面声波装置,其另外包括一第二金属黏合层,该金属系从周期表第四或第六栏的元素中挑选,并覆盖且黏合在该传导结构上。10.一种高功率平面声波装置,包括:一具有一表面的压电基体;以及一沈积在该基体表面上的平面声波电极,该电极包括一黏合层与一传导结构,该黏合层包括钛、钛-钨、钛-钨-氮化物、铬与其化合物之一,并沈积且黏结在该表面上,而该传导结构具有至少一层覆盖在该黏合层上,并由该黏合层固定黏合至该表面,该传导结构包括铝和一合金金属,而该合金金属包括钛、钼、铬与钨之一,对该合金金属就范围而言大约为重量的1%到25%。11.如申请专利范围第1项的高功率平面声波装置,其另外包括一第二金属黏合层,该金属系从周期表第四或第六栏的元素中挑选出,并覆盖且黏合在该传导结构上。图式简单说明:图1系根据本发明之高功率平面声波装置的上视图;图2系图1中自2-2方向者的剖面图;以及图3系与图2相似的另一具体实施例的剖面图。 |
