| 主权项 |
1.一种模组式管状电浆源装置,用以在一处理室内 产生电浆,该装置主要包含: 至少二条状天线,其系相互平行排列而能感应电浆 ,每一条状天线包含一感应线圈及一介电套管,其 中该感应线圈系呈螺旋弹簧状,且该介电套管为中 空连通管并套设该感应线圈; 至少一射频[RF]电源,以并联或串联方式连接感应 线圈;及 至少一参考电位,对应于射频电源而连接感应线圈 ,藉由该射频电源使感应线圈产生电浆。2.依申请 专利范围第1项所述之模组式管状电浆源装置,其 中该射频电源为两组以上,并以交错并联方式连接 条状天线之感应线圈。3.依申请专利范围第1项所 述之模组式管状电浆源装置,其中该射频电源另包 含一匹配网路。4.依申请专利范围第1项所述之模 组式管状电浆源装置,其中该参考电位为接地电位 。5.依申请专利范围第1项所述之模组式管状电浆 源装置,其中该介电套管系为石英或氧化铝之中空 管。6.一种条状天线,用以连接射频电源以感应电 浆,该条状天线包含: 一介电套管,其系为中空连通管;及 一感应线圈,其系呈螺旋弹簧状并置于该介电套管 内。7.依申请专利范围第6项所述之条状天线,其中 该介电套管系为石英或氧化铝之中空管。8.一种 电浆处理室,用以处理基板,其至少包含; 一电浆腔,系由上腔体与下腔体所组成,其中上腔 体设有一气体入口; 一基板载台,设于下腔体,用以承载基板; 一抽气帮浦,设于下腔体,用以抽气减压; 一模组式管状电浆源装置,设于上腔体,主要包含 至少二条状天线、至少一射频电源及至少一参考 电位,其中该条状天线系相邻平行排列而能感应电 浆,每一条状天线系包含一呈螺旋弹簧状感应线圈 及一介电套管,该介电套管为中空连通管并套设该 感应线圈,而该射频电源以并联或串联方式连接感 应线圈。该参考电位对应于射频电源而连接感应 线圈,藉由该射频电源使感应线圈产生电浆。9.依 申请专利范围第8项所述之电浆处理室,其中该射 频电源为两组以上,并以交错并联方式连接条状天 线之感应线圈。10.依申请专利范围第8项所述之电 浆处理室,其中该射频电源另包含一匹配网路。11. 依申请专利范围第8项所述之电浆处理室,其中该 参考电位为接地电位。12.依申请专利范围第8项所 述之电浆处理室,其中该介电套管系为石英或氧化 铝材质之中空管。13.依申请专利范围第8项所述之 电浆处理室,其中该电浆处理室另包含一偏压射频 电源,而该电源系连接于基板载台。14.依申请专利 范围第13项所述之电浆处理室,其中该偏压射频电 源另包含一匹配网路。15.依申请专利范围第8项所 述之电浆处理室,其中该电浆腔系为方块腔室形, 用以处理液晶平面玻板。16.一种处理方形基板之 电浆源模组,其主要包含复数个条状天线及至少一 射频电源,该些条状天线系对应于该方形基板而相 互平行排列,每一条状天线系包含有一感应线圈及 一介电套管,其中该感应线圈系呈螺旋弹簧状,且 该介电套管为中空连通管并套设该感应线圈。17. 依申请专利范围第16项所述之电浆源模组,其中该 介电套管系为石英或氧化铝之中空管。18.依申请 专利范围第16或17项之电浆源模组,其中该方形基 板为玻璃基板。19.依申请专利范围第16或17项所述 之电浆源模组,其中该玻璃基板为液晶面板。图式 简单说明: 第1图:一电浆系统内包含本创作之电浆源装置之 剖视图; 第2图:本创作一实施例之条状天线与射频电源之 电路连接示意图;及 第3图:本创作另一实施例之条状天线与射频电源 之电路连接示意图。 |
