| 主权项 |
1.一种电连接装置,含有于交叉之X方向及Y方向各 有复数个开口的格子,及于每一前述开口各具备分 别具有接触部之复数个探测元件之探测板,其中前 述探测板系以前述接触部位于对应于前述开口的 位置之方式配置于前述格子之一方的面上,又于含 有一个以上之前述开口之相邻开口领域的境界部 互相切离而分割为复数个探测领域。2.如申请专 利范围第1项之电连接装置,其中前述各接触部含 有凸出于前述格子之相反侧的凸起电极。3.如申 请专利范围第1项之电连接装置,其中又含有分别 设置在前述各开口内之如橡胶的复数个弹性体,前 述探测板又为装设在前述弹性体。4.如申请专利 范围第1项之电连接装置,其中更含有:设置在前述 格子之另一面侧之复数个支持体,该复数支持体系 在前述X方向及前述Y方向之任一方隔以间隔而向 另一方延伸且抵接前述弹性体之复数支持体;以及 组装该支持体的底板。5.如申请专利范围第4项之 电连接装置,其中至少前述格子为使用热膨胀系数 比半导体晶圆为小的材料形成。6.如申请专利范 围第4项之电连接装置,其中前述支持体从前述格 子向前述探测板的相反侧凸出。7.如申请专利范 围第1项之电连接装置,其中更具备分别电气连接 于前述探测元件之贯通前述格子而延伸之复数引 线。8.如申请专利范围第7项之电连接装置,其中更 含有具备分别连接于前述引线之复数配线之膜片 状之一个以上的连接基板。9.如申请专利范围第1 项之电连接装置,其中更含有设置在前述格子之各 开口内之板状的弹性体,及设置在前述格子之另一 面侧之于前述X方向及前述Y方向之任一方隔以间 隔而向另一方延伸并且抵接于前述弹性体之复数 个支持体,而 前述各支持体具有向其长边方向延伸并向前述弹 性体侧开口之槽,前述各弹性体之一部分为装入前 述槽内, 各探测元件藉由形成在前述探测板之一个以上的 第1缝隙而形成为悬臂梁状,前述各弹性体各自至 少在装入前述槽内的部分具有对应于前述第1缝隙 之复数个第2缝隙。10.如申请专利范围第1项之电 连接装置,其中前述弹性体之一部分与前述槽之底 面的两者间形成空间。11.如申请专利范围第2项之 电连接装置,其中前述凸起电极具有锥体状之形状 。12.如申请专利范围第11项之电连接装置,其中前 述凸起电极具有100度至175度的顶角。13.如申请专 利范围第11项之电连接装置,其中前述凸起电极具 有包含复数倾斜面及倾斜线之角锥体状之形状,其 中一倾斜线由前述凸起电极的顶点者为向着于因 过度驱动构成之前述凸起电极的移动方向。14.如 申请专利范围第12项之电连接装置,其中前述凸起 电极具有正四角锥体状之形状,前述正四角锥体之 相对的两倾斜线由前述凸起电极的顶点者为延伸 于包含前述凸起电极之探测元件的长边方向,并且 形成120度至165度之前述顶角。15.如申请专利范围 第12项之电连接装置,其中前述凸起电极具有正四 角锥体状之形状,前述正四角锥体之相对的两倾斜 面由前述凸起电极的顶点者为向着于包含前述凸 起电极之探测元件的长边方向,并且形成100度至155 度之前述顶角。16.如申请专利范围第12项之电连 接装置,其中前述凸起电极具有长短四倾斜线之菱 形四角锥体状之形状,其中相对之两长倾斜线由前 述凸起电极之顶点者为延伸于包含前述凸起电极 之探测元件的长边方向,并且形成170度至175度之前 述顶角。17.如申请专利范围第16项之电连接装置, 其中相对之两短倾斜线形成之顶角在125度至135度 之间。18.如申请专利范围第12项之电连接装置,其 中前述凸起电极具有不等边四角锥体状之形状,其 相对之两倾斜面之由前述四角锥体状之底边至顶 点的尺寸比相对之另两倾斜面为大,并且由前述凸 起电极的顶点者时为向着包含前述凸起电极之探 测元件的长边方向,又为形成具有120度至165度之前 述顶角。图式简单说明: 第1图表示本发明之电连接装置之一实施例的断面 图。 第2图表示第1图之电连接装置的底面图。 第3图表示第1图之电连接装置的要部扩大断面图 。 第4图表示第3图之要部扩大底面图。 第5图表示探测部之部分的立体图。 第6图表示省略弹性体之状态的探测部之分解立体 图。 第7图表示格子与支持体之组装状态的分解立体图 。 第8图表示探测元件之扩大立体图。 第9图表示本发明之电连接装置之第2实施例的断 面图。 第10图表示本发明之电连接装置之第3实施例的断 面图。 第11图表示本发明之探测板之一实施例之一部分 的立体图。 第12图表示第11图之探测板之座及凸起电极之扩大 立体图。 第13图表示第11图之探测板之凸起电极的说明图,(A )为凸起电极的平面图,(B)为说明顶角的凸起电极 之立体图。 第14图表示凸起电极之第2实施例包含座的立体图 。 第15图表示座之另一实施例与凸起电极共同表示 的立体图。 第16图(A)至(C)表示顶角之各实施例。 第17图表示凸起电极之第3实施例与座共同表示的 立体图。 第18图表示第17图之凸起电极的说明图,(A)为凸起 电极的平面图,(B)及(C)为说明顶角之凸起电极的立 体图。 第19图表示凸起电极之第4实施例与其座的立体图 。 |
