| 发明名称 |
PROCEDE DE NETTOYAGE A PASSIVATION EXEMPT D'OXYGENE DANS UN REACTEUR PLASMA A COUPLAGE INDUCTIF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2805185(B1) |
申请公布日期 |
2002.09.20 |
| 申请号 |
FR20000002193 |
申请日期 |
2000.02.22 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS SA |
发明人 |
CHRISTAUD JEAN FRANCOIS;HELLE WOLFGANG |
| 分类号 |
B08B7/00;H01L21/311;(IPC1-7):B08B7/00;B01J19/08 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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