发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN TRANSISTOR BIPOLAIRE DE TYPE DOUBLE POLYSILICIUM A BASE A HETEROJONCTION ET TRANSISTOR CORRESPONDANT
摘要 <P>Transistor et procédé de fabrication d'un transistor bipolaire du type double-polysilicium à base à hétérojonction, dans lequel on forme par épitaxie non sélective, une couche semi-conductrice à hétérojonction SiGe 2 sur une région active ZA d'un substrat SB et une région isolante STI entourant ladite région active ZA, on forme sur la couche semi-conductrice 2 au-dessus d'une partie de ladite région active, au moins une couche d'arrêt 3, on forme sur la couche semi-conductrice 2 et sur une partie de la couche d'arrêt 3 une couche de polysilicium 5 et une couche isolante supérieure 6 en laissant libre une fenêtre d'émetteur 7, et on forme par épitaxie une région d'émetteur 9 dans ladite fenêtre d'émetteur 7, reposant partiellement sur la couche isolante supérieure 6 et en contact avec la couche semi-conductrice 2.</P>
申请公布号 FR2822292(A1) 申请公布日期 2002.09.20
申请号 FR20010003469 申请日期 2001.03.14
申请人 STMICROELECTRONICS SA 发明人 CHANTRE ALAIN;BAUDRY HELENE;DUTARTRE DIDIER
分类号 H01L21/331;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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