| 发明名称 |
SUBSTRATE TRANSFER METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JP2002270669(A) |
申请公布日期 |
2002.09.20 |
| 申请号 |
JP20010072176 |
申请日期 |
2001.03.14 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KAMIYAMA TSUTOMU |
| 分类号 |
B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
