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发明名称 MOUNTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JP2002270626(A) 申请公布日期 2002.09.20
申请号 JP20010071379 申请日期 2001.03.14
申请人 NIDEC TOSOK CORP 发明人 NAKATOMI YOSHIHARU;HANABUSA TOSHIKI
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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