Verfahren zur Herstellung eines einkristallinen Siliciumwafers und durch das Verfahren hergestellter einkristalliner Siliciumwafer,申请号DE19996002494-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung eines einkristallinen Siliciumwafers und durch das Verfahren hergestellter einkristalliner Siliciumwafer
摘要
申请公布号	DE69902494(D1)	申请公布日期	2002.09.19
申请号	DE19996002494	申请日期	1999.03.05
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.	发明人	TAMATSUKA, MASARO;IIDA, MAKOTO;KOBAYASHI, NORIHIRO
分类号	C30B15/00;C30B33/00;(IPC1-7):C30B15/00;C30B29/06	主分类号	C30B15/00
代理机构		代理人
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