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发明名称 INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 DE69525956(T2) 申请公布日期 2002.09.19
申请号 DE19956025956T 申请日期 1995.09.15
申请人 KAUPPINEN, JYRKI 发明人 KAUPPINEN, JYRKI
分类号 G01B9/02;G01J3/45;G01J3/453;G01J9/02;(IPC1-7):G01J3/45 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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