| 摘要 |
Eine reflektierende Membranmaske (1) besteht zumindest teilweise aus einem elektrisch leitfähigen Material und ist horizontal über einer zu bearbeitenden Probe (6) ausgerichtet. Eine Durchbiegung wird dadurch kompensiert, dass über der Membranmaske und parallel dazu eine Elektrodenplatte (2) angeordnet ist, die mit einer Anzahl gegeneinander elektrisch isolierten Elektroden (3) versehen ist. Durch Anlegen einer jeweiligen elektrischen Potenzialdifferenz zwischen einer Elektrode und der Membranmaske werden elektrostatische Kräfte hervorgerufen, die eine Verformung der Membranmaske korrigieren. |
