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发明名称 Verfahren und Schaltungsanordnung zur pulsförmigen Energieeinspeisung in Magnetronentladungen
摘要
申请公布号 DE10015244(C2) 申请公布日期 2002.09.19
申请号 DE20001015244 申请日期 2000.03.28
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 GOEDICKE, KLAUS;WINKLER, TORSTEN;JUNGHAEHNEL, MICHAEL;HANDT, KARSTEN;GUELDNER, HENRY;WOLF, HENRIK;ECKHOLZ, FRANK
分类号 H01J37/34;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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