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发明名称 Trockenvorrichtung und Trocknungsverfahren
摘要
申请公布号 DE19749649(C2) 申请公布日期 2002.09.19
申请号 DE19971049649 申请日期 1997.11.10
申请人 RYODEN SEMICONDUCTOR SYSTEM ENGINEERING CORP., ITAMI;MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MATSUMOTO, AKINORI;KURODA, TAKESHI;BAN, COZY;KONISHI, TOKO;YOKOI, NAOKI
分类号 H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/302;F26B7/00;F26B9/06 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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