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发明名称 Ellipsometer
摘要
申请公布号 DE10023477(C2) 申请公布日期 2002.09.19
申请号 DE20001023477 申请日期 2000.05.10
申请人 SENTECH INSTRUMENTS GMBH 发明人 WIELSCH, UWE;ARENS, MICHAEL;RICHTER, UWE;DITTMAR, GEORG;KRUEGER, ALBRECHT;WITEK, HELMUT
分类号 G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21;G01J4/00 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
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