| 发明名称 |
METHOD FOR POLISHING A SILICON SURFACE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US3615955(A) |
申请公布日期 |
1971.10.26 |
| 申请号 |
USD3615955 |
申请日期 |
1969.02.28 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
JOSEPH REGH;GENE A. SILVEY |
| 分类号 |
C09K3/14;B24B37/00;B24B37/04;C23F3/00;C23F3/06;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L7/50 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
