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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur ortsaufgelösten Charakterisierung elektronischer Eigenschaften von Halbleitermaterialien
摘要
申请公布号 DE19915051(C2) 申请公布日期 2002.09.19
申请号 DE19991015051 申请日期 1999.04.01
申请人 BAYERISCHES ZENTRUM FUER ANGEWANDTE ENERGIEFORSCHUNG E.V. (ZAE BAYERN) 发明人 BAIL, MICHAEL;BRENDEL, ROLF;HIERL, THOMAS;SCHULZ, MAX;ZETTNER, JUERGEN
分类号 G01R31/26;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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