发明名称 | 太阳能电池及其制造方法 | ||
摘要 | 使半导体晶体衬底的一个正面与含有氟化物的电解液接触,将一个电极放置于该电解液中,在该电极和半导体晶体衬底之间通过电流,向该半导体晶体衬底施加光以生成数对空穴和电子。通过使空穴与离子在与该电解液接触的半导体晶体衬底的正面内结合来蚀刻半导体晶体衬底,从而在其上形成至少一个表面不规则性结构。 | ||
申请公布号 | CN1369919A | 申请公布日期 | 2002.09.18 |
申请号 | CN02103590.3 | 申请日期 | 2002.02.07 |
申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 江本真树子;藤田健太郎;柴田明夫;横田洋 |
分类号 | H01L31/18;H01L31/04 | 主分类号 | H01L31/18 |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 韩宏 |
主权项 | 1.一种制造太阳能电池的方法,包括:使半导体晶体衬底的一个正面与含有氟化物的电解液接触;将一个电极放置于所述电解液中;在所述电极和所述半导体晶体衬底之间通过电流,并且向所述半导体晶体衬底施加光,以生成空穴和电子对;以及通过在与所述的电解液保持接触的半导体晶体衬底的正面内使所述空穴和离子结合来蚀刻所述半导体晶体衬底,由此形成至少一个表面不规则性结构。 | ||
地址 | 日本东京都 |