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发明名称 Deposition of lanthanum silicate and lanthanum oxide films
摘要
申请公布号 GB0218544(D0) 申请公布日期 2002.09.18
申请号 GB20020018544 申请日期 2002.08.09
申请人 EPICHEM LIMITED 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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