改善有机蒸发镀膜成膜性能的方法

摘要

本发明属于电致发光领域,是一种有机电致发光器件的制作方法。本发明是在现有的真空热蒸发镀制有机层的方法中,采取一种辅助方法,用来增加有机分子能量,加大分子迁移率,减少或消除有机层柱状结构的形成。所述的辅助方法,包括离子沉积和电场沉积方法,是在蒸发镀膜机内增度离子原或电场装置。本发明可以增加有机层聚集密度,改善有机层的成膜性能,进而提高发光器件的寿命和质量。

主权项

1、一种改善有机蒸发镀膜成膜性能的方法，其特征是在有机蒸发镀膜成膜方法上，采用一种辅助沉积方法，所用的方法包括增加蒸发分子的能量，加大分子的迁移率，和轰击有机层膜，抑制、减少和消除有机层柱状结构的形成；所述的方法具体地是在蒸发镀膜的密闭容器内，增设一种装置，该装置使蒸发源上被蒸发的有机分子能量增加，同时轰击有机层，给有机层分子提供额外的激活能。