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发明名称 HIGH PULSE RATE PULSE POWER SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1101258(A4) 申请公布日期 2002.09.18
申请号 EP19990930661 申请日期 1999.06.24
申请人 CYMER, INC. 发明人 PARTLO, WILLIAM, N.;BIRX, DANIEL, L.;NESS, RICHARD, M.;ROTHWEIL, DANIEL, A.;MELCHER, PAUL, C.;SMITH, BRETT, D.
分类号 H01F30/00;G03F7/20;H01S3/097;H01S3/225;H03K3/57;H03K17/80;(IPC1-7):H01S3/097 主分类号 H01F30/00
代理机构 代理人
主权项
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