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发明名称 SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号 EP1240663(A2) 申请公布日期 2002.09.18
申请号 EP20000990686 申请日期 2000.12.08
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 POKORNY, JOACHIM
分类号 C25D17/06;C25D17/08;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C25D17/06
代理机构 代理人
主权项
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