| 发明名称 |
A METHOD FOR GENERATION OF A DISCHARGE IN OWN VAPORS OF A RADIO FREQUENCY ELECTRODE FOR SUSTAINED SELF-SPUTTERING AND EVAPORATION OF THE ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0726967(B1) |
申请公布日期 |
2002.09.18 |
| 申请号 |
EP19940931243 |
申请日期 |
1994.10.12 |
| 申请人 |
SURFCOAT OY |
发明人 |
BARDOS, LADISLAV;BARANKOVA, HANA |
| 分类号 |
H01J37/34;C23C14/34;C23C14/22;C23C14/35;C23C14/40;(IPC1-7):C23C14/40 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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