用直流电等离子聚合在金属表面连续形成聚合物的设备

摘要

本发明涉及用直流电等离子聚合形成聚合物的设备,其特征在于,在基材上通电使其作为一个电极,在沉积室中的相反电极位于待沉积基材的两个表面上方。另外,通过将主体与通电的基材间绝缘,本发明能够获得在聚合期间的安全性。

主权项

1.一种通过直流电等离子聚合连续形成聚合物的设备，包括：具有退卷辊和卷取辊的输送室，退卷辊用于退卷待表面处理的基材并将之输送到其它室，卷取辊用于卷取表面处理后的基材；通过直流放电等离子体等离子聚合基材表面的沉积室，其中使用基材作为一个电极，并相对于基材安装至少一个相反电极；与基材连接用于为基材提供高压电的高压电源装置；用于电气绝缘高压电源装置和基材与设备主体间的电流通道的绝缘部件；维持沉积室真空度的泵装置；以及用于将反应气体和非反应气体注入沉积室的供气装置。