发明名称 长波红外宽带滤光片
摘要 一种选择所需6.3微米至7.6微米水汽波段的长波红外宽带滤光片,它用抛光锗片作基板,在其的二个表面交替蒸镀多层硒化锌膜层和碲化铅膜层。该滤光片主膜系采用宽带膜系,这一膜系中的硒化锌膜层与碲化铅膜层的光学厚度比达到13比4,有效减小了碲化铅薄膜负温度特性系数对滤光片中心波长的影响。第二面膜系采用前截止膜系叠加宽带截止次峰膜系,该膜系能有效截除通带前次峰和相应的后次峰。这种结构的膜系透过率高、矩形度好和常温至低温截止边漂移小,中心波长漂移仅0.04微米,在截止区域内截止深度小于0.5%,能有效抑制背景干扰及减少串音。本实用新型生产的滤光片成品率高,能满足高精度空间仪器需要。
申请公布号 CN2511984Y 申请公布日期 2002.09.18
申请号 CN01277170.8 申请日期 2001.12.29
申请人 中国科学院上海技术物理研究所 发明人 张麟
分类号 G02B5/20;G02B1/02;G01N21/35 主分类号 G02B5/20
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 郭英
主权项 1.一种长波红外宽带滤光片,包括一表面抛光的基板(1),其第一和第二两个面上分别交替镀有多层碲化铅膜层(3)和硒化锌膜层(2),其特征是:该基板(1)为锗材料;第一面膜系为 Ns|H4LH4LH4LHL|N0;第二面膜系为 Ns|2(0.5LH0.5L)6|3.31L|3.31(LHL)6|N0,式中的符号含义分别为:Ns表示锗基板,L表示λ0/4硒化锌膜层,H表示λ0/4碲化铅膜层,N0表示空气,λ0为中心波长,对于第一面膜系为6.9微米,第二面膜系为2.1微米。
地址 200083上海市玉田路500号