首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 Apparatus and method for substrate processing
摘要
申请公布号 EP0688888(B1) 申请公布日期 2002.09.18
申请号 EP19950304139 申请日期 1995.06.15
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 LEI, LAWRENCE CHUNG-LAI;LEUNG, CISSY S.;ENGLHARDT, ERIC A.;SINHA, ASHOK K.
分类号 C23C16/455;C23C16/44;C23C16/458;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/683;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/52;H01L21/00;C30B25/12 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com