发明名称 抛光组合物及使用它的抛光方法
摘要 一种抛光组合物,它含有下述组分(a)-(g):(a)至少一种选自二氧化硅、氧化铝、氧化铈、氧化锆和氧化钛的磨料;(b)脂族羧酸;(c)至少一种选自铵盐、碱金属盐、碱土金属盐、有机胺化合物和季铵盐的碱性化合物;(d)至少一种选自柠檬酸、乙二酸、酒石酸、甘氨酸、α-丙氨酸和组氨酸的促进抛光的化合物;(e)至少一种选自苯并三唑、苯并咪唑、三唑、咪唑和甲苯三唑的防腐蚀剂;(f)过氧化氢和(g)水。
申请公布号 CN1369530A 申请公布日期 2002.09.18
申请号 CN02103380.3 申请日期 2002.01.31
申请人 不二见株式会社 发明人 浅野宏;酒井谦儿;伊奈克芳
分类号 C09G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 白益华
主权项 1.一种抛光组合物,它含有下述组分(a)-(g):(a)至少一种选自二氧化硅、氧化铝、氧化铈、氧化锆和氧化钛的磨料;(b)脂族羧酸;(c)至少一种选自铵盐、碱金属盐、碱土金属盐、有机胺化合物和季铵盐的碱性化合物;(d)至少一种选自柠檬酸、乙二酸、酒石酸、甘氨酸、α-丙氨酸和组氨酸的促进抛光的化合物;(e)至少一种选自苯并三唑、苯并咪唑、三唑、咪唑和甲苯三唑的防腐蚀剂;(f)过氧化氢;(g)水。
地址 日本爱知县