| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING SEMICONDUCTIVE WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG91256(A1) |
申请公布日期 |
2002.09.17 |
| 申请号 |
SG20000000894 |
申请日期 |
2000.02.18 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SCOTT HENDRICKSON;INNA SHMURUN;SON T. NGUYEN;SHANKAR VENKATARAMAN |
| 分类号 |
H01L21/31;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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