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发明名称
摘要
申请公布号 JP3324571(B2) 申请公布日期 2002.09.17
申请号 JP19990182730 申请日期 1999.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/56;H01L23/12;H01L23/28;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/12 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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