| 摘要 |
<p>본 발명은 안정한 특성을 갖고 고정밀도의 커패시터 또는 인덕터 등의 수동부품을 내장한 고밀도의 다층 세라믹 기판의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 제조방법은 수동부품이 되는 순수 세라믹 기능재료를 포함한 성형체 블록 10g, 11g를 준비하며; 세라믹 절연재료를 포함한 복수개의 적층된 세라믹 그린시트 2g~8g를 포함하며, 내부에 공간 29, 34가 미리 형성되며, 이 공간 29, 34에 성형체 블록 10g, 11g가 삽입되며, 공간 29, 34의 내벽면과 성형체 블록 10g, 11g와의 사이에 소성중에 팽창을 수반한 산화반응을 발생시키는 금속을 포함한 페이스트 50g가 부여되는 순수 복합적층체 1g을 준비하며; 소성온도에서 소결하지 않는 순수 세라믹으로 구성된 시트상 지지체 48, 49로 복합적층체 1g를 포위한 상태로 수축을 억제하며; 복합적층체 1g를 소성한 후에 미소결된 시트상 지지체 48, 49를 제거하는 각 단계들을 포함한다.</p> |
