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发明名称 VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG ANGEREGTER/IONISIERTER TEILCHEN IN EINEM PLASMA
摘要
申请公布号 AT223616(T) 申请公布日期 2002.09.15
申请号 AT19990947488T 申请日期 1999.10.11
申请人 R 3 T GMBH RAPID REACTIVE RADICALS TECHNOLOGY 发明人 STEINHARDT, HEINZ;MATHUNI, JOSEF;GSCHWANDTNER, ALEXANDER
分类号 B01J19/08;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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