| 发明名称 |
Vorrichtung zur Messung des Durchmessers und der Form des Querschnitts eines Wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69526813(T2) |
申请公布日期 |
2002.09.12 |
| 申请号 |
DE19956026813T |
申请日期 |
1995.01.25 |
| 申请人 |
TOKYO SEIMITSU CO. LTD., MITAKA |
发明人 |
KAGAMIDA, TAKESHI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/08;G06T1/00;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00;B24B9/06 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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