Tragvorrichtung unter Verwendung magnetische Energie,申请号DE19976009440T-传众专利搜索

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发明名称	Tragvorrichtung unter Verwendung magnetische Energie
摘要
申请公布号	DE69709440(T2)	申请公布日期	2002.09.12
申请号	DE19976009440T	申请日期	1997.06.06
申请人	NIKON CORP., TOKIO/TOKYO	发明人	ONO, KAZUYO
分类号	B23Q3/15;B23Q1/44;B23Q15/22;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):G05D3/14	主分类号	B23Q3/15
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