发明名称 Halbleiterprüfsystem und zugehörige Überwachungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE10192396(T1) 申请公布日期 2002.09.12
申请号 DE20011092396T 申请日期 2001.06.13
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 SATO, ATSUSHI;NAKAMURA, MASAFUMI;IHATA, TSUYOHIRO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/319;G01R35/00;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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