| 发明名称 |
Novel polymers and photoresist compositions comprising same |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2002255786(A1) |
申请公布日期 |
2002.09.12 |
| 申请号 |
AU20020255786 |
申请日期 |
2002.02.25 |
| 申请人 |
SHIPLEY COMPANY, L.L.C. |
发明人 |
STEFAN J. CAPORALE;GEORGE G. BARCLAY |
| 分类号 |
C08F220/18;C08F234/02;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039;C08F34/00;C08F24/00 |
主分类号 |
C08F220/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
