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发明名称 Waferheizanordnung
摘要
申请公布号 DE69622823(D1) 申请公布日期 2002.09.12
申请号 DE19966022823 申请日期 1996.10.29
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 EDELSTEIN, SERGIO;CHEN, STEVEN A.;PARKHE, VIJAY D.
分类号 C30B35/00;C23C14/50;C23C16/458;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00;C23C16/44 主分类号 C30B35/00
代理机构 代理人
主权项
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