| 摘要 |
<p>Aufsetzkraft-Erfassungseinrichtung für Bestückvorrichtungen zum Bestücken von Bauelementen (300) auf Substrate (400). Ein Bauelement-Greifer (110) ist an einem Halter (130) angeordnet. Ein Kraftsensor (140) ist zwischen dem Halter (130) und dem Bauelement-Greifer (110) angeordnet, so dass von dem Kraftsensor (140) die Aufsetzkraft, mit welcher das Bauelement (300) auf das Substrat (400) aufgesetzt wird, direkt erfassbar ist. Durch sehr geringe bewegte Massen wird eine hohe Messgenauigkeit und Zuverlässigkeit der Aufsetzkraft-Erfassungseinrichtung erreicht. Durch Vorsehen einer Feder (150) im Kraftfluss zwischen dem Bauelement-Greifer (110) und dem Halter (130) kann die Genauigkeit noch weiter gesteigert werden.</p> |
