| 发明名称 |
REZYKLIEREN VON ZUR REINIGUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN VERWENDETEN STOFFEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69430706(T2) |
申请公布日期 |
2002.09.12 |
| 申请号 |
DE1994630706T |
申请日期 |
1994.11.14 |
| 申请人 |
FSI INTERNATIONAL, CHASKA |
发明人 |
GRANT, C. |
| 分类号 |
B01D3/36;B01D3/34;C01B7/01;C01B7/07;C01B7/09;C01B7/19;C01B9/04;C01B21/46;H01L21/304;(IPC1-7):B01D3/34;C01B17/90 |
主分类号 |
B01D3/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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