发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HANDHABEN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE59902272(D1) 申请公布日期 2002.09.12
申请号 DE19995002272 申请日期 1999.04.14
申请人 STEAG HAMATECH AG 发明人 SPEER, ULRICH;WEBER, KLAUS
分类号 B25J15/06;B25J15/00;B25J15/08;B65G;B65G47/90;B65G47/91;B65G49/05;B65G49/07;(IPC1-7):B65G47/91 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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