发明名称 |
Verfahren zum Ermitteln von Fertigungs- und/oder Prozessierungsschwächen, Verfahren zum Ermitteln von Maschinentrends sowie zugehörige Komponenten |
摘要 |
Erläutert wird unter anderem ein Verfahren, bei dem ein Halbzeug (12) eine Vielzahl von Bearbeitungsstufen (PS1 bis PS201) durchläuft. Es werden auf die Fertigungseinheiten (12) bezogene Werte für eine Gütegröße zur Bewertung der Fertigung ermittelt, z. B. für die Ausbeute. Außerdem wird eine Untersuchungsgröße vorgegeben, z. B. die für die Fertigung verwendete Maschine (M1 bis M3) in einer bestimmten Bearbeitungsstufe (PS1). Signifikanztests werden automatisch (30) für mindestens zwei Bearbeitungsstufen (PS1, PS2) ausgeführt. Anschließend wird automatisch eine Bearbeitungsstufe (PS1) ausgewählt, in der die Ursache für einen Fertigungs- und/oder Prozessierungsfehler gesucht wird.
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申请公布号 |
DE10108928(A1) |
申请公布日期 |
2002.09.12 |
申请号 |
DE20011008928 |
申请日期 |
2001.02.23 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
POEPPEL, GERHARD;WACHTMEISTER, FRANK |
分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):G07C3/14 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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