液晶显示器基板及其制造方法及液晶显示器

摘要

本发明系关于一种反射式液晶显示器可藉反射外部光来显示影像，及其制造方法；而目的系在提供一种液晶显示器及其制造方法，能将由显示电极的间隙入射之光确实吸收以避免反射光之色调变差。在一设于一矽基板1上之场效应电晶体(FET)的源极电极22上制成一层间绝缘膜24，并以CMP法将其表面平面化之后，制成一绝缘防反射膜26。该源极电极22与一金属层29，系藉埋设在一贯穿该防反射膜26与层间绝缘层24之贯孔中的连接导件30来连接。同样地，于该金属层29上制成一层间绝缘层24'并使其上平面化之后，制设一绝缘防反射层26'。该金属层29及一显示电极，系藉埋设一贯穿该防反射膜26'与层间绝缘膜24'之贯孔来连接。

主权项

1.一种液晶显示基板之制造方法,包含以下步骤:在一连接于切换元件之电极上制成一第一绝缘膜,该第一绝缘膜具有比该电极所形成之阶层差异更平面化的表面;以电浆化学蒸汽淀积(CVD)法在该第一绝缘膜上形成一绝缘防反射膜;制成一贯孔贯穿通过该防反射膜与第一绝缘膜而曝现该电极的连接部份;及在该防反射膜的顶层上方制成一显示电极,该显示电极具有可反射入射光的功能,并经由一与该贯穿之内表面触接的连接导件,来连接于前述之电极。2.如申请专利范围第1项之液晶显示基板的制造方法,其中该显示电极系直接设在该防反射膜的表面上。3.如申请专利范围第1项之液晶显示基板的制造方法,更在该防反射膜的上层制成一第二绝缘膜,并将该显示电极设在该第二绝缘膜上。4.如申请专利范围第3项之液晶显示基板的制造方法,其中有一在玻璃上旋涂(SOG)之薄膜被用作该第二绝缘膜。5.如申请专利范围第1项之液晶显示基板的制造方法,更在该防反射膜上形成一线路层,并将该显示电极设在该线路层上。6.如申请专利范围第3项之液晶显示基板的制造方法,其中该第一或第二绝缘膜之平面化处理,乃包含磨光处理、SOG涂敷处理或涂敷SOG后再蚀刻回复处理。7.如申请专利范围第1项之液晶显示基板的制造方法,其中该防反射膜系由氧化矽(SiN)膜,氮氧化矽(SiNO)膜,或散布染料的SOG膜等至少其中之一所制成者。8.如申请专利范围第1项之液晶显示基板的制造方法,其中该显示电极系由叠层之铝或铝合金膜设在钛膜上所制成者,而该铝合金包括铝与铜的合金,或铝与铜及钛的合金。9.一种液晶显示基板,包含:一第一绝缘成设在一连接于切换元件的电极上,该第一绝缘膜具有比该电极所形成之阶层差异更平面化的表面;一绝缘防反射膜乃以电浆CVD法设在该第一绝缘膜上;及一显示电极设在该防反射膜之顶层上方,该显示电极具有反射入射光的功能,而经由一连接导件连接于前述之电极,该连接导件系触接一贯穿该防反射膜与第一绝缘膜之贯孔的内表面。10.一种液晶显示器,包含:一第一绝缘膜设在一连接于切换元件的电极上,该第一绝缘膜具有比该电极所形成之阶层差异更平面化的表面;一绝缘防反射膜乃以电浆CVD法设在该第一绝缘膜上;及一显示电极设在该防反射膜之顶层上方,该显示电极具有反射入射光的功能,而经由一连接导件连接于前述之电极,该连接导件系触接一贯穿该防反射膜与第一绝缘膜之贯孔的内表面;一反向电极设在该显示电极上方而中夹一液晶层。11.一种液晶显示基板,包含:多数的显示电极,乃可在该等显示电极与一反向电极相对设置时,能对被夹设于该等显示电极与反向电极之间的液晶层施以一电场;一绝缘防反射胺设在该等显示电极的底层下方,该防反射膜之一表面被平面化处理;一贯孔贯穿通过该防反射膜,而引伸一连接导件至该防反射膜的底层下方。12.一种液晶显示器,包含:多数的显示电极具有光反射膜的功能而可反射入射光;一反向电极设在该等多数的显示电极上而中夹一液晶层;一绝缘防反射膜至少设在该等多数显示电极之间的底层上,该绝缘防反射膜之一表面被平面化处理;及一贯孔贯穿通过该防反射膜,而引伸一连接导件至该防反射膜的底层下方。图式简单说明:第1图系为一部份剖视图,示出本发明一实施例之反射式液晶显示器(基板)的概略构造。第2图系为一部份剖视图,示出本发明一实施例之反射式液晶显示器(基板)的详细构造。第3图系为一示意图,表示本发明一实施例之反射式液晶显示器(基板)的制造方法。第4图系为一示意图,表示本发明一实施例之反射式液晶显示器(基板)的制造方法。第5图系为一部份剖视图,示出本发明一实施例之反射式液晶显示器(基板)一变化例的构造。第6图系为一部份剖视图,示出本发明一实施例之反射式液晶显示器(基板)一变化例的构造。第7图为又一部份剖视图,示出本发明一实施例之反射式液晶显示器(基板)一变化例的构造。第8图为另一部份剖视图,示由本发明一实施例之反射式液晶显示器(基板)一变化例的构造。第9图系为一部份剖视图示出习知反射式液晶显示器的概略构造。