| 主权项 |
1.一种光波接收器之定位装置,适用于安装在一容纳高能量反应物质之壳体的观察窗口位置,以收集该高能量反应物质所发出之光波,并且将该光波传送至一处理装置以测出波长大小,该光波接收器之定位装置包括:一定位座,设置于该壳体,该定位座系连接于该观察窗口;一收集装置,设置朝向于该观察窗口,藉由该收集装置接收该光波;一基座,用以安装该收集装置及可分离设置于该定位座,该收集装置系藉由该基座之定位而突出朝向于该观察窗口,以收集该光波;一迫紧装置,设置于该基座与该壳体之间,该迫紧装置系用以将该基座抵紧于该壳体,以稳定上述收集装置;以及一传送装置,连接于该收集装置,藉由该传送装置将该收集装置所接收之该光波输送至该处理装置,以测量出该光波之波长大小。2.如申请专利范围第1项所述之光波接收器之定位装置,其中,该高能量反应物质系为电浆。3.如申请专利范围第1项所述之光波接收器之定位装置,其中,该观察窗口系设置于该高能量反应物质与该壳体之间。4.如申请专利范围第3项所述之光波接收器之定位装置,其中,该观察窗口系由一透明材料所形成。5.如申请专利范围第4项所述之光波接收器之定位装置,其中,该透明材料为一透紫外线玻璃(Ultra-Violetglass)。6.如申请专利范围第5项所述之光波接收器之定位装置,其中,该传送装置为光纤。7.如申请专利范围第6项所述之光波接收器之定位装置,其中,该收集装置具有一端部,于该端部设置有一透镜组,该端部系定位突出于该基座之一端面而朝向该观察窗口,而该光纤系连接于该透镜组。8.如申请专利范围第7项所述之光波接收器之定位装置,其中,该收集装置系为一柱状物,于该柱状物之外部形成有一外螺纹部分及一阶级部分,该外螺纹部分系邻接于该阶级部分,于该基座具有一内螺纹部分,该收集装置系藉由该外螺纹部分而锁付于该内螺纹部分,并且藉由一螺帽回转于该阶级部分与该基座之间的该外螺纹部分,以达到稳固的定位效果。9.如申请专利范围第8项所述之光波接收器之定位装置,其中,该柱状物之该外螺纹部分、该阶级部分、该透镜组、该光纤系一体成形。10.如申请专利范围第9项所述之光波接收器之定位装置,其中,该基座包括:一第一元件,具有一第一穿孔组,该第一穿孔组具有至少三穿孔;一第二元件,具有一第二穿孔组,该第二穿孔组具有至少三穿孔;一中间元件,具有一第三穿孔组,该第三穿孔组具有至少三穿孔,该第三穿孔组系以同轴心方式相对于该第一穿孔组、该第二穿孔组;至少二锁紧元件,用以将中间元件夹合于第一元件与第一元件之间,该锁紧元件分别依序穿过该第一穿孔组、该第三穿孔组、该第二穿孔组之间相对位置之同轴心穿孔;当该基座设置于该壳体时,藉由该锁紧元件将该第一元件与该第二元件之间的距离缩紧而压迫该中间元件以产生变形,该中间元件之变形部分便抵紧于该壳体而定位该基座,以达到相同于该迫紧装置之稳定该收集装置的效果。11.如申请专利范围第11项所述之光波接收器之定位装置,其中,该中间元件系由聚胺酯(polyurethane,PU)塑胶材料所制成。12.如申请专利范围第11项所述之光波接收器之定位装置,其中,该第一元件更具有一肩部,藉由该肩部将该基座稳定地设置于该壳体。13.如申请专利范围第12项所述之光波接收器之定位装置,其中,该锁紧元件为螺栓。14.一种光波接收器之定位装置,适用于安装在一容纳高能量反应物质之壳体的观察窗口位置,以收集该高能量反应物质所发出之光波,并且将该光波传送至一处理装置以测出波长大小,该光波接收器之定位装置包括:一定位座,设置于该壳体,该定位座系连接于该观察窗口;一收集装置,设置朝向于该观察窗口,藉由该收集装置接收该光波;一基座,用以安装该收集装置及可分离设置于该壳体,该收集装置系藉由该基座之定位而突出朝向于该观察窗口,以收集该光波;一迫紧装置,设置于该基座与该壳体之间,该迫紧装置系用以将该基座抵紧于该壳体,以稳定上述收集装置;以及至少一光纤,连接于该收集装置,藉由该光纤将该收集装置所接收之该光纤输送至该处理装置,以测量出该光波之波长大小。15.如申请专利范围第14项所述之光波接收器之定位装置,其中,该高能量反应物质系为电浆。16.如申请专利范围第14项所述之光波接收器之定位装置,其中,该观察窗口系设置于该高能量反应物质与该壳体之间,并且该观察窗口系由一透明材料所形成。17.如申请专利范围第16项所述之光波接收器之定位装置,其中,该透明材料为一透紫外线玻璃(Ultra-Violet glass)。18.如申请专利范围第17项所述之光波接收器之定位装置,其中,该收集装置具有一端部,于该端部设置有一透镜组,该端部系定位突出于该基座之一端面而朝向该观察窗口,而该光纤系连接于该透镜组。19.如申请专利范围第18项所述之光波接收器之定位装置,其中,该收集装置系为一柱状物,于该柱状物之外部形成有一外螺纹部分及一阶级部分,该外螺纹部分系邻接于该阶级部分,于该基座具有一内螺纹部分,该收集装置系藉由该外螺纹部分而锁付于该内螺纹部分,并且藉由一螺帽回转于该阶级部分与该基座之间的该外螺纹部分,以达到稳固的定位效果。20.如申请专利范围第19项所述之光波接收器之定位装置,其中,该柱状物之该外螺纹部分、该阶级部分、该透镜组、该光纤系一体成形。21.如申请专利范围第20项所述之光波接收器之定位装置,其中,该基座包括:一第一元件,具有一第一穿孔组,该第一穿孔组具有至少三穿孔;一第二元件,其有一第二穿孔组,该第二穿孔组具有至少三穿孔;一中间元件,具有一第三穿孔组,该第三穿孔组具有至少三穿孔,该第三穿孔组系以同轴心方式相对于该第一穿孔组、该第二穿孔组;至少二锁紧元件,用以将中间元件夹合于第一元件与第一元件之间,该锁紧元件分别依序穿过该第一穿孔组、该第三穿孔组、该第二穿孔组之间相对位置之同轴心穿孔;当该基座容纳于该壳体时,藉由该锁紧元件将该第一元件与该第二元件之间的距离缩紧而压迫该中间元件以产生变形,该中间元件之变形部分便迫紧于该壳体而定位该基座,以达到稳定该收集装置之一迫紧装置。22.如申请专利范围第21项所述之光波接收器之定位装置,其中,该中间元件系由聚胺酯(polyurethane,PU)塑胶材料所制成。23.如申请专利范围第22项所述之光波接收器之定位装置,其中,该第一元件更具有一肩部,藉由该肩部将该基座稳定地设置于该壳体。24.如申请专利范围第23项所述之光波接收器之定位装置,其中,该锁紧元件为螺栓。图式简单说明:第1图系表示一般半导体制程中之电浆放电室的立体示意图;第2图系表示本创作第一实施例的光波接收器之定位装置中,藉由单一光纤进行传输之外部结构组合立体图;第3图系表示于第2图中之光波接收器之定位装置的立体分解图;第4图系表示本创作光波接收器之定位装置安装于电浆放电室之壳体的剖面示意图;第5图系表示本创作光波接收器之定位装置藉由锁紧元件将第一元件、第二元件之间的距离缩紧而压迫中间元件以产生变形之剖面示意图;及第6图系表示本创作第二实施例的光波接收器之定位装置中,藉由三组光纤进行传输之外部结构组合立体图。 |
