| 主权项 |
1.一种可锁定微型机电致动器,其包括一种微型机电致动器(22),其特征为:一热塑材料(20),其耦合至该微型机电致动器以锁定该微型机电致动器;及一加热器(24),其可融化该热塑材料以使该微型机电致动器产生移动。2.如申请专利范围第1项之可锁定微型机电致动器,其特征为:该微型机电致动器系为一种热致动式微型机电致动器,其可回应于热致动而产生移动。3.如申请专利范围第2项之可锁定微型机电致动器,其中该加热器为一第一加热器(2400),该可锁定微型机电致动器的进一步特征为:一第二加热器(2800),其热耦合至该微型机电致动器,以回应于该第二加热器的致动而使该微型机电致动器移动。4.如申请专利范围第3项之可锁定微型机电致动器,其进一步特征为:一热隔离器(3400),其可将该第二加热器与该热塑材料予以隔热。5.如申请专利范围第1.2.3或4项之可锁定微型机电致动器,其中该加热器或第一加热器的进一步特征为:在施加一第一动力(P1)値时可融化该热塑材料及作动该热致动器,且在施加小于该第一动力値之一第二动力(P2)値时可融化该热塑材料而不作动该热致动器。6.如申请专利范围第1.2.3或4项之可锁定微型机电致动器,其进一步特征为:一继电器接脚、一光学衰减器、一光学开关、一可变电路元件、一阀及一电路断路器中至少有一者机械耦合至该微型机电致动器予以作动。7.一种微型机电致动器之操作方法,其特征为:融化一种耦合至该微型机电致动器之热塑材料,以将该微型机电致动器解除锁定;致动该解除锁定之微型机电致动器;及使该融化的热塑材料固化,以锁定该微型机电致动器。8.如申请专利范围第7项之方法,其特征为同时进行融化及致动之步骤。9.如申请专利范围第7或8项之方法:其中该微型机电致动器之进一步特征为:一热耦合至该热塑材料之加热器;其中该融化步骤之进一步特征为:将动力施加至该加热器以融化该热塑材料之步骤;及其中该固化步骤之进一步特征为:对于该加热器降低动力以使该融化的热塑材料固化之步骤。10.如申请专利范围第7或8项之方法:其中该微型机电致动器之进一步特征为:一热耦合至该热塑材料之第一加热器(2400);其中该微型机电致动器系为一种热致动式微型机电致动器;其中该微型机电致动器之进一步特征为:一热耦合至该热致动式微型机电致动器之第二加热器(2800);其中该融化步骤之进一步特征为:将动力施加至该第一加热器以融化该热塑材料之步骤:其中该致动步骤之进一步特征为:将动力施加至该第二加热器以作动该热致动式微型机电致动器之步骤;及其中该固化步骤之进一步特征为:对于该加热器降低动力以使该融化的热塑材料固化之步骤。图式简单说明:图1A为处于未致动位置之根据本发明的可锁定热拱梁微型机电致动器的实施例之立体图;图2A为沿图1A的线2A-2A'所取之侧剖视图;图1B为处于致动位置之根据本发明的可锁定热拱梁微型机电致动器的实施例之立体图;图2B为沿图1B的线2B-2B'所取之侧剖视图;图3A为处于未锁定及开启位置之根据本发明的可锁定微型机电致动器的其他实施例之立体图;图3B为处于未锁定及关闭位置之根据本发明的可锁定微型机电致动器的其他实施例之立体图;图4为根据本发明的可锁定热拱梁微型机电致动器的其他实施例之俯视图;图5.6A、6B为根据本发明的微型机电致动器之致动、缩回、锁定的实施例之正时图。 |
