光活性香豆素衍生物

摘要

本发明系揭示及请求一种新颖3, -二氢化香豆素衍生物类别，其可在极多种应用中，包括光阻与其他光-电子应用，作为光活性化合物使用。较佳具体实施例，包括5-羟基、6-羟基及7-羟基-3-重氮基-4-酮基-3,4-二氢化香豆素之醚、酯、碳酸酯及磺酸酯衍生物。此等化合物在远紫外线(DUV)区域(约250毫微米)中。显示极高光敏性，且因此可在DUV光阻配方中作为光活性化合物使用。

主权项

1.一种下式化合物: 其中: (a)X为氧; (b)R系选自包括: 具有7至24个碳原子之n价芳烷基, 具有6至24个碳原子之n价芳基, 具有式R'-(CO)n-之醯基, 具有式R'-(O-CO)n-之基团,及 具有式R'-(SO2)n-之基团,其中R'为具有1至24个碳原子 之烷基、或芳烷基或芳族基团; (c)R1.R2及R3为相同或不同,且系独立选自由氢、氟 、氯、溴、碘、及C1-6烷基所组成之群;以及 (d)n为具有数値1至6之整数。2.根据申请专利范围 第1项之化合物,其中该化合物为具有下式之3-重氮 基-4-酮基-6-氧基-3,4-二氢化香豆素:3.根据申请 专利范围第1项之化合物,其中R为具有式R'-(CO)n-之 醯基,其中R'为具有1至24个碳原子之烷基、或芳烷 基或芳族基团,其中n为具有数値1至4之整数。4.根 据申请专利范围第3项之化合物,其中R1至R3为氢。5 .根据申请专利范围第1项之化合物,其中R为1',1',1'- 参-4-(氧基羰基苯基)乙烷,4,8-双碳基(carbano)三环并 [5.2.1.0.2,6]癸烷及4,8-双羰基三环[5.2.1.0.2,6]癸烷。