生产二氧化硅毛坯的方法及实施该方法的设备

摘要

本发明涉及一种生产SiO₂毛坯的方法,其中SiO₂颗粒在沉积燃烧器的燃烧器火焰中形成并在电场的作用下沉积在基底上。根据分配到燃烧器火焰(8)的基底(1)的沉积表面(12;21)的几何参数,通过电场(9)的作用调节燃烧器火焰(8)的几何形状,生产具有预定的,特别是轴向均匀的质量和密度分布的毛坯。本发明还涉及一种适合于实施该方法的设备,包括基底;至少一个沉积燃烧器,用于在分配到该沉积燃烧器的燃烧器火焰中产生SiO₂颗粒;一个测量装置,用于检测在SiO₂毛坯的沉积表面区域中的几何参数;和一对连接到电压源上的电极,用于产生在燃烧器火焰区域内起作用的电场。

主权项

1.一种通过在沉积燃烧器的燃烧器火焰中形成SiO2颗粒并在电场的作用下把所述颗粒沉积在基底的沉积表面上来生产SiO2毛坯的方法，其特征在于，根据沉积表面(12；21)的几何参数，通过所述电场(9)的作用来调节所述燃烧器火焰(8)的几何形状。