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发明名称 SOFTWARE SYSTEM AND METHOD FOR GRAPHICALLY BUILDING CUSTOMIZED RECIPE FLOWCHARTS
摘要
申请公布号 EP1025511(A4) 申请公布日期 2002.09.11
申请号 EP19980955139 申请日期 1998.10.27
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 HARDIKAR, MANOJ;ZHOU, STEVE;SHIFLETT, RICHARD;KULKARNI, ASHOK
分类号 G06F9/44;G06F17/27;G06F17/50;G06Q10/00;G06T11/20;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):G06F17/00;G06F17/18;G06F17/30;G06F19/00 主分类号 G06F9/44
代理机构 代理人
主权项
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